立方结构PbSe薄膜在六角硒化镉单晶(0001)表面的外延生长研究

作者:潘棋; 王健; 任羿烜; 范旭东; 程红娟; 刘兴钊 电子薄膜与集成器件国家重点实验室电子科学与工程学院电子科技大学; 成都610054; 中国电子科技集团公司第46研究所; 天津300220

摘要:采用分子束外延技术在六角铅锌矿结构CdSe单晶基片(0001)表面生长了立方结构PbSe薄膜,通过对所生长PbSe薄膜的X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)分析,阐明了所生长立方PbSe薄膜与六角纤锌矿结构CdSe(0001)的外延关系,高分辨率TEM分析结果显示:CdSe基片与PbSe薄膜之间界面清晰,PbSe薄膜的晶体结构完整,其电子衍射谱的各级衍射斑点无明显畸变;XRD分析结果显示:所生长立方PbSe薄膜为(100)取向,PbSe薄膜与CdSe单晶的面内外延关系为PbSe[110]//CdSe[100],并呈现出三种不同面内取向晶粒镶嵌排列的微观结构,这表明:虽然六角铅锌矿结构CdSe(0001)面与立方PbSe(100)面具有不同的对称性,但仍能生长出高质量的PbSe薄膜,并为PbSe薄膜的应用奠定了可能。

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