摘要：为解决气相沉积法制备材料过程中腐蚀性液体液位测量问题,基于液柱透镜成像原理,设计了高精度耐腐蚀的光电透射式液位测量仪。论文给出了液位测量仪的基本工作原理及结构设计、重点分析了液位特征提取算法的设计和实现过程。设计的液位测量仪能够满足透明、半透明、不透明液体的液位测量。实验结果表明,液位特征提取算法能准确识别液滴、液滴串、气泡段等异常影响。液位测量仪能在溶液结晶等较复杂工况下正常工作,并且其测量分辨率达 3.5 μm,静态测量误差小于0.02 mm,单个测量头量程为 52.5 mm,有较好稳定性,非接触式测量,耐腐蚀,可小型化,能够满足较高精度液位测量需求。