一种基于DVD读取头的非接触触发探头

作者：高伟陈晓怀陈贺合肥工业大学仪器科学与光电工程安徽合肥230009

摘要：文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头，它由商用DVD读取头改装而成，已经完成设计与制作。实验结果表明，此非接触探头分辨率优于lnm，测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社

期刊咨询免费咨询

省级期刊下单

国际刊号：1006-6268

国内刊号：11-3670/TN

期刊咨询服务，助力升职加薪

多年专注期刊服务，熟悉发表政策，投稿全程指导。因为专注所以专业。

推荐期刊保障正刊，评职认可，企业资质合规可查。

诚信服务，签订协议，严格保密用户信息，提供正规票据。

如果发表不成功可退款或转刊。资金受第三方支付宝监管，安全放心。