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摘要：采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
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微细加工技术杂志， 双月刊，本刊重视学术导向，坚持科学性、学术性、先进性、创新性，刊载内容涉及的栏目：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。于1983年经新闻总署批准的正规刊物。
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