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一种应用于角度传感器的Sigma Delta ADC设计

作者:周志兴; 来强涛; 姜宇; 郭江飞; 王成龙; 陈腾; 郭桂良 中国科学院微电子研究所; 北京100029; 中国科学院大学; 北京100049; 中国科学院大学微电子学院; 北京100029

摘要:采用XH0180.35μmCMOS工艺设计了一种应用于磁阻角度传感器的SigmaDelta调制器.由于实际运放的增益都是有限的,使得开关电容积分器的信号传输函数的极点发生偏移,进而影响ADC精度,本文采用有限增益补偿技术减小运放增益对开关电容积分器的影响.该调制器采用两阶1bit全反馈结构,信号带宽12KHz,采样频率6.25MHz.后仿结果表明,在2.5V电源电压下,调制器的整体功耗为4mW.核心电路版图尺寸为0.45mm×0.3mm.在-40℃~150℃,各个工艺角的ENOB≥16.5bit.FOM=165.

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