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摘要：本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
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清洗世界杂志， 月刊，本刊重视学术导向，坚持科学性、学术性、先进性、创新性，刊载内容涉及的栏目：实用技术、试验研究、专论与综述、环保节能、管理与维护等。于1985年经新闻总署批准的正规刊物。
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