锑化物二类超晶格红外探测器

作者:黄建亮; 张艳华; 曹玉莲; 黄文军; 赵成城; 卫炀; 崔凯; 郭晓璐; 李琼; 刘珂; 马文全 中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室; 北京100083; 中国科学院大学材料科学与光电技术学院; 北京101407

摘要:本文主要展示了近几年来该课题小组在InAs/GaSb二类超晶格红外探测器领域取得的一些研究成果,如在短波波段(1~3μm)、中波波段(3~5μm)、长波波段(8~12μm)、甚长波波段(>14μm)等单色器件的成果,以及双色InAs/GaSb二类超晶格红外探测器方面的成果,如短/中波双色、短波/甚长波双色,长波/甚长波双色红外探测器等单管器件。除此之外,还展示了384×288中波波段InAs/GaSb二类超晶格红外焦平面探测器组件。

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国际刊号:1673-5048

国内刊号:41-1228/TJ

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