摘要：针对台阶高度的评定算法,对单边算法、直方图法、Two-sided算法和ISO算法进行了对比分析;构建了不同信噪比、不同尺寸的台阶高度仿真曲线,从噪声环境和多尺度方面对直方图法、ISO算法和Two-sided算法的适应性进行了评定。通过模拟结果可得：ISO算法在不同噪声环境中表现出较好的稳定性和准确性;Two-sided算法的纳米尺度计算结果更加精确;随着台阶高度尺寸增大,3种算法的计算结果趋于接近,均具有良好的精度。