基于遗传算法相位抖动优化的高质量二值条纹产生方法

作者:蔡宁; 陈浙泊; 林斌; 曹向群 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室国家光学仪器工程技术研究中心; 杭州310027; 浙江大学台州研究院; 浙江台州318000

摘要:采用遗传算法在相位域对抖动算法产生的二值条纹图案进行优化,同时,为了解决遗传算法的耗时问题,用对二值块的优化来代替整个条纹图案的优化.实验结果表明:本文方法对不同离焦量具有鲁棒性,能极大改善抖动算法的测量质量;在轻度离焦、中度离焦和重度离焦的情况下,相位均方根误差分别由1.493,1.209,0.989rad,减小到0.972,0.749,0.603rad.

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国际刊号:1004-4213

国内刊号:61-1235/O4

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