基于DMD的高速高精度空间光调制器
作者： 上海交通大学电子信息与电气工程学院; 上海200240
摘要：现有主流商品化的空间光调制器（Spatial Light Modulator,SLM）基于硅基液晶[1]（Liquid Crystal on Silicon,LCoS）技术,存在着调制精度低、速度慢、幅度和相位无法独立调制等问题。本文提出的基于数字微镜阵列器件[2]（Digital Mirror Device,DMD）和共轴光学系统实现的空间光调制器克服了上述存在的问题,并且提高了其光强耐受度。
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光电子技术杂志
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