电荷累加型TDICMOS探测器测试方法研究

作者:梁楠; 张斐然; 蔡帅; 李博; 李涛 北京空间机电研究所; 北京100094

摘要:随着航天遥感领域对分辨率、高速传输、低功耗方面需求的提高,基于电荷累加的TDICMOS探测器应运而生。该探测器无论在工艺上还是探测器结构上均与TDICCD和传统数字累加的CMOS器件有着本质的不同。因此,许多关于探测器性能参数的测试方法无法适用于电荷累加的TDICMOS。本文基于电荷累加TDICMOS的自身特性,先后提出了关于电荷-DN转换因子、满阱电荷、电荷转移效率、读出噪声等参数的新测试方法,同时搭建TDICMOS测试系统进行实验验证。实验证明了上述测试方法的正确性和工程可实现性,为今后TDICMOS工程应用提供了重要依据。

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光电工程

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