摘要：点缺陷构成的微腔对THz波调制器的性能起着决定性的作用，而在实际制作加工过程中，由于工艺的原因，光子晶体的结构参量会产生偏差，难以制备出孔径毫无偏差的光子晶体，且介质柱的放置位置不能达到完全精确，因此光子晶体器件的性能也因此会受到一定程度的影响。文中重点讨论了点缺陷介质柱的半径变化对直接耦合结构的THz波调制器性能的影响，为光子晶体调制器的实际制作和相应的误差分析提供了理论帮助。