摘要：柔性全固态薄膜锂电池具有轻质、可赋形等特点,在可穿戴、柔性显示等领域具有非常广阔的应用前景。基于PVD技术实现了LiCoO2正极、LiPON固态电解质和金属Li负极等关键材料的薄膜化沉积,并最终以柔性超薄不锈钢为基底成功制备了LiCoO2/LiPON/Li柔性全固态薄膜锂电池。采用X射线衍射光谱法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)对薄膜结构、形貌进行了表征。采用LAND测试系统以及电化学工作站对电池的电化学性能进行测试分析,电池以10μA/cm^2电流充/放电时,首次放电面积比容量达到13.1μAh/cm^2。电池可以65μA/cm^2(5)恒电流充/放电。